DN16CF 316LN, Quarz-Sichtfenster, EUV-Qualität
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Product description
DN16CF Flansch (AISI 316LN) mit Sichtfenster in EUV Qualität
Sichtdurchmesser: 16mm
Parallelität: < 10 Bogensekunden
Oberfläche: λ/4@632nm Transmitted Wavefront
Rauheit: 20/10 Scratch-Dig
Temperaturbereich: -100°C – 200°C
Material: Corning HPFS 7980 Excimer Grade Fused Silica
Transmission: > 99,5%@193nm(Internal)
Homogenität: Grad A
Einschlussklasse: 0
Magnetische Permeabilität: (μr < 1.01)
NUR WEICHE KUPFERDICHTUNG VERWENDEN
| Vacuum Suitability | |
|---|---|
| Flange Type | |
| Flange Name | |
| Flange Material | |
| Flange Style | |
| Min. Operating Temperature (°C) | |
| Max. Operating Temperature (°C) | |
| Magnetic | |
| Part Type | |
| Viewport Diameter (mm) | |
| Viewport Material | |
| Coating | |
| Transmitted Wavefront Distortion (TWD) | |
| Polish | |
| Parallelism | |
| Inclusions | |
| Homogeneity |
