DE_DN63CF 316LN viewport, EUV Fused Silica
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Produktbeschreibung
DN63CF unmagnetisches Sichtfenster, Fused Sililca (Quarz) in EUV Qualität, Material Corning HPFS 7980 Excimer Grade Fused SilicaHomogenitätsgrad AEinschlussklasse 0Paralellität < 10 BogensekundenEbenheit λ/4@632nmPolitur 20/10 Scratch-DigTransmission >99,5%@193nm (intern)Magnetische Permeabilität μ < 1.01Sichtdurchmesser 68mm
| Vakuum-Eignung | |
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| Flanschtyp | |
| Flansch Name | |
| Flanschmaterial | |
| Flanschausführung | |
| Min. Einsatztemperatur (°C) | |
| Max. Einsatztemperatur (°C) | |
| Magnetisch | |
| Artikeltyp | |
| Fensterdurchmesser (mm) | |
| Fenstermaterial | |
| Beschichtung | |
| Wellenfrontverzerrung (TWD) | |
| Polierung | |
| Parallelität | |
| Störstellen (Inclusions) | |
| Homogenität |
