110-KRF-C63

DN63CF Quartz VP, AR Coated 248nm

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Produktbeschreibung

DN63CF ergütetes Quarz Sichtfenster, EUV Grade, mit Einlinenvergütung
248nm mit <0.25% Verlust / Fläche

Sichtdurchmesser 68mm

Nutzbarer vergüteter Durchmesser 50mm

Homogenität Grade A, Einschlüsse Klasse 0

Ebenheit lambda/4 @632nm

Parallelität < 10 arc sec

Politur 20/10 scratch / dig

Temp. Bereich -100 … +200°C

Leckrate < 2x 10-10 mbar l/s He (ohne He Diffusion durch Quarz)

Zusätzliche Information

Vakuum-Eignung

Flanschtyp

Flansch Name

Flanschmaterial

Flanschausführung

Min. Einsatztemperatur (°C)

Max. Einsatztemperatur (°C)

Artikeltyp

Fensterdurchmesser (mm)

Fenstermaterial

Beschichtung

Wellenfrontverzerrung (TWD)

Polierung

Antireflex-Beschichtung Wellenlänge

AR Beschichtung Reflektion

Parallelität

Störstellen (Inclusions)

Homogenität

Laser Schadensschwellwert

Durchmesser AR-Besch. (mm)

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