UHV-Manipulator CF40, 200mm Verfahrweg, Schrittmotor
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Product description
Z-Manipulator, DN40CF, 200mm Hub, 39mm ID, Flansch zu Flansch Abstand 120 … 320mm. Beweglicher Flansch mit Gewinde, Basisflansch mit Durchgangslöchern. Mit 2-phasen Schrittmotorantrieb (Oriental PKP 268) , Einstellgenauigkeit 1µm, mit verstellbaren mechanischen Endanschlägen. Max. Gesamtbauhöhe 410mm
| Vacuum Suitability | |
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| Flange Type | |
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