DN63CF 316LN viewport, EUV Fused Silica
2.521,00 € ex. VAT
Produktbeschreibung
DN63CF unmagnetisches Sichtfenster, Fused Sililca (Quarz) in EUV
Qualität,
Material Corning HPFS 7980 Excimer Grade Fused Silica
Homogenitätsgrad A
Einschlussklasse 0
Paralellität < 10 Bogensekunden
Ebenheit λ/4@632nm
Politur 20/10 Scratch-Dig
Transmission >99,5%@193nm (intern)
Magnetische Permeabilität μ < 1.01
Sichtdurchmesser 68mm
| Vakuum-Eignung | |
|---|---|
| Flanschtyp | |
| Flansch Name | |
| Flanschmaterial | |
| Flanschausführung | |
| Min. Einsatztemperatur (°C) | |
| Max. Einsatztemperatur (°C) | |
| Magnetisch | |
| Artikeltyp | |
| Fensterdurchmesser (mm) | |
| Fenstermaterial | |
| Beschichtung | |
| Wellenfrontverzerrung (TWD) | |
| Polierung | |
| Parallelität | |
| Störstellen (Inclusions) | |
| Homogenität |
